প্রতিটি ইউনিট ন্যানো-শিখা পদ্ধতি ব্যবহার করে পরীক্ষা করা হয় এবং এতে উচ্চ পরিস্রাবণ দক্ষতা, কম প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং বড় ধুলো ধারণ ক্ষমতা রয়েছে। অপটোইলেক্ট্রনিক্স, এলসিডি ম্যানুফ্যাকচারিং, বায়োফার্মাসিউটিক্যালস, নির্ভুল যন্ত্র, পানীয় এবং খাদ্য, এবং পিসিবি প্রিন্টিং-এর মতো শিল্পে ক্লিনরুমের এয়ার কন্ডিশনার টার্মিনাল সাপ্লাই ইউনিটে উচ্চ-দক্ষতাসম্পন্ন এয়ার ফিল্টার ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। ক্লিনরুম টার্মিনালে উচ্চ-দক্ষতা এবং অতি-উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার উভয়ই ব্যবহার করা হয় এবং তাদের গঠন দ্বারা নিম্নরূপ শ্রেণীবদ্ধ করা যেতে পারে: বিভাজক সহ HEPA ফিল্টার, বিভাজক ছাড়া HEPA ফিল্টার, উচ্চ-ভলিউম HEPA আল্ট্রা ফিল্টার,{9} উচ্চ মাত্রার ফিল্টার,{9} ফিল্টার
এছাড়াও, আরও তিন ধরনের উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার রয়েছে: অতি-উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার, যা 99.9995% পরিশোধন করতে পারে; বিভাজক ছাড়াই অ্যান্টিব্যাকটেরিয়াল HEPA ফিল্টার, যেটিতে ব্যাকটেরিয়ারোধী বৈশিষ্ট্য রয়েছে এবং ব্যাকটেরিয়াকে ক্লিনরুমে প্রবেশ করতে বাধা দেয়; এবং সাব-উচ্চ-দক্ষতা ফিল্টার, যা সস্তা এবং পূর্বে কম চাহিদা সম্পন্ন ক্লিনরুম পরিবেশে ব্যবহৃত হত।